产品功能介绍
Product Function Introduction
1. 6维电动直线轴和6维手动旋转轴进行控制,特殊算法快速找到最佳信号位置。
2. 兼容石英玻璃基和硅基芯片材料的耦合。
3. 流程化操作,各种类型的AWG产品都可以兼容耦合。
4. 单颗产品的自动找光时间<15秒. 耦合重复性<0.1dB。
5. 测试四通道中心波长的IL值,并保存到数据库。
6. 具有调平衡优化功能,保证产品各通道的均匀性(uniformity)。
7. 采用距离传感器,自动控制胶层距离(精度2μm ),保证重复性和一致性。
8. 操作简单,对熟练员工没有依赖性,员工只需通过CCD辅助调平行操作,新手员工培训周期不超过1周。
系统性能指标 System Performance Index
轴 | X | Y | Z | θx | θy | θz |
移动量 | 20m | ±3℃ | ±10℃ | |||
分辨率 | 1µm/脉冲 | 33.8”/ 刻度 | 33.4”/ 刻度 | 33.4”/ 刻度 | ||
最大速度 | 20mm/sec | 15度/sec | ||||
单向定位精度 | 5µm | 1µm | ||||
重复定位精度 | ±0.3µm | ±0.005µm |